Разработка технологических мероприятий по повышению эффективности процесса магнетронного напыления упрочняющих 3d-нанокомпозитных покрытий металлорежущего инструмента


Скачать 107,39 Kb.
PDF просмотр
НазваниеРазработка технологических мероприятий по повышению эффективности процесса магнетронного напыления упрочняющих 3d-нанокомпозитных покрытий металлорежущего инструмента
страница4/7
ДРУЖКОВ СТАНИСЛАВ СЕРГЕЕВИЧ
Дата конвертации28.09.2012
Размер107,39 Kb.
ТипАвтореферат
СпециальностьТехнология и оборудование механической и физико-технической обработки»
Год2012
На соискание ученой степениКандидат технических наук
1   2   3   4   5   6   7


 
В  ходе  систематизации  данных  автором  было  установлено,  что  путём 
преобразований имеющихся формул искомые зависимости могут быть опреде-
лены  опосредованно.  В  связи  с  вышесказанным,  в  качестве  целесообразного 
направления  достижения  поставленной  цели  по  повышению  производительно-
сти  магнетронной  установки  автором  предлагается  разработка  математической 
модели, определяющей непосредственную взаимосвязь скорости осаждения по-
крытия  и  величины  рабочего  давления  газа  в  вакуумной  камере,  которая  впо-
следствии может быть использована для оптимизации давления. 
Во  второй  главе  на  основе  анализа    ранее    выполненных  исследований, 
представлена  разработка  математических    моделей  для  оптимизации  давления 
газа в вакуумной камере. 
Создана  математическая  модель,  необходимая  для  осуществления  коли-
чественной оценки качества плазменной среды в вакуумной  камере в процессе 
магнетронного  нанесения  покрытий.  Она  позволяет  рассчитать  коэффициент, 
отражающий  полноту  соответствия  комплекса  качественных  характеристик 
плазмы аналогичному комплексу, принятому за эталон: 
 g
 g
 Q
 g
 Q
 g
 Q
 
атм.пр

2
2
2
h
h
t
t
t
t

0,5
кор
кор
атм
атм
ВО
ВО


 g
    Q
 g
 g
 Q

тех.пр

2
2
q
q
q

2
ВГ
ЧП
ЧП

г
г
м
м
Q

сост.пл


,   
(1) 
 g
 g
   g
 Q
  
ВГ
МУ

2
2
2
Т
Т
RH
RH
z



2
2



 g
 Q
 g
 Q
t
t
q
q

ИО
ИО
ОС
ОС
где  Q
– комплексный показатель качественного состава плазмы; g
сост.пл
атм.пр – ве-
сомость  комплексного  показателя  содержания  атмосферных  примесей  в 
плазме;Qhкор , ghкор – единичный показатель толщины технологической корки и 
его весомость; Qtатм, gtатм – единичный показатель продолжительности нахожде-
ния камеры под атмосферным давлением и его весомость; QtВО , gtВО – единич-
ный показатель продолжительности вакуумной откачки и его весомость; gтех.пр – 
весомость комплексного показателя содержания технических примесей  в плаз-
ме;  Qqг,  gqг  –  единичный  показатель  чистоты  используемых  газов  и  его  весо-
мость; Qqм, gqм – единичный показатель чистоты материалов мишеней и его ве-
сомость;  gВГ – весомость комплексного  показателя  выполнения  требований ва-
куумной  гигиены;  QЧП,  gЧП  –  единичный  показатель  чистоты  осуществления 
процесса и его весомость; gМУ – весомость комплексного показателя микрокли-
мата вакуумного участка; QТ, gТ – единичный показатель температуры воздуха и 
его весомость; QRHgRH – единичный показатель относительной влажности воз-
духа и его весомость; Qzgz – единичный показатель запылённости воздуха и его 
весомость; QtИО , gtИО – единичный показатель продолжительности ионной очи-
стки и его весомость; QqОС, gqОС – единичный показатель исправности откачной 
системы и его весомость. 
За  счёт  оперирования  безразмерными  комплексами  вместо  параметров 
процесса  в  явном  виде  обеспечивается  универсальность  модели,  а  также  воз-
можность  интеграции  большого  числа разнородных параметров  и  показате-
лей    качества.  С  учётом  практической  проверки,  определяемый  по  модели  ко-
эффициент может учитываться в расчёте оптимального давления (по критерию 
1   2   3   4   5   6   7

Разместите кнопку на своём сайте:
поделись


База данных защищена авторским правом ©dis.podelise.ru 2012
обратиться к администрации
АвтоРефераты
Главная страница